用于大口径非球面的波前功率谱密度检测

摘要

光学元件加工质量的检测和评价工作是保证整个光学系统安全、正常运行的关键.在总结非球面常用检验指标优、缺点的基础上,讨论了测量大口径非球面的波前功率谱密度时的系统组成、工作原理和软件设计的总体思路.为了减少系统误差的影响,求解波前功率谱密度时,通过引入系统传递函数校正测量值来实现.使用大口径相位干涉仪作为波前检测仪器,证实波前功率谱密度能定量给出波前畸变的空间频率分布,并用于作为大口径光学元件质量的评价标准.给出一个测试口径为64mm(64mm光学元件测试结果,有效频率为0.03mm-1～3.87mm-1,rms为0.0064λ.