基于ASTM方法的光学平面面形检测

摘要

为分析光学平面面形偏差,以直径100 mm光学平晶为检测对象,利用斐索干涉仪采集了被测光学平面的波面干涉图,按照美国材料与试验协会(American Society for Testing and Materials,ASTM)标准方法,通过分析,能够定性反映出被测光学平面的面形偏差.计算并分析了波面偏差指标峰谷值PV和均方根值RMS,将计算结果与利用ZYGO斐索干涉仪测得的数据对比,偏差为10-3λ,符合光学检测要求.综合考虑可操作性和计算精度,这种基于ASTM的方法是一种行之有效的光学检测分析方法.