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关志远;
微结构; LIGA技术; 光刻;
机译:使用类似UV LIGA的锥状微结构制造导光板
机译:使用X射线LIGA在PMMA抗蚀剂中制造的微结构的线宽设计规则
机译:通过LIGA方法制造常规微结构-技术
机译:多尺度微结构表征,可增进对增材制造中微结构与性能关系的理解。
机译:通过激光箔印刷增材制造制造的铝制零件:加工微结构和机械性能
机译:金属微结构的制造与铝和激光照射的阳极氧化。用于开发新的LIGA过程。
机译:LIGa制造的微结构的尺寸变化和粗糙度
机译:用于LIGA工艺的掩模,制造掩模的方法以及使用LIGA工艺制造微结构的方法
机译:用于liga工艺的面膜,制造面膜的方法以及使用liga工艺制造微结构的方法
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