微型机器人

摘要

所谓微型机械指的是整个尺寸约为1mm,器件尺寸精度约为1μm的机械.它的尺寸约为普通机械尺寸的1/100,使用光学显微镜才能观察得到.利用微机械技术的机器人有如下两种,(1)使结构器件微小化、精密化以提高定位精度,或可以进行微细操作的机器人,(2)使机器人本身微小化的所谓微型机器人.本文叙述微型机器人的结构、功能及其研究应用例子.