微型结构的高精密定位

摘要

微系统工程中的现代定位系统,不仅反映在它的机械精度.注意力应当特别放到与复杂系统相连接的电子学系统的通信能力.在激光微细材料加工中,激光脉冲序列必须与基板的定位保持同步.微系统工程有许多特殊要求,最明显的一个例子就是产生电波用的波导.可以通过在适当材料基质(如氧化硅)去除材料的办法,制成微型结构的波导,其深度与宽度约从几微米到几百微米,其纵向延伸与变化受基质的限制.