超音波モータ応用システム－高精度位置決めステージ

摘要

江戸時代の数学者吉田光由が大きな数の位から小さな数の位まで体系的にまとめあげているが、今や「塵」の位である「ナノ」（十億分の一うという接頭語をごく普通に口にする時代になった。 写真1に示す超音波ステージUS120-SHの位置決め分解能10ナノメートルの長さとは、可視光の波長の数十分の一、3京ヘルツのX線波長に相当する途方も無く小さな長さの世界である。 これまでもいくつかの周辺技術の技術革新があって今日のナノテクを支える位置決め技術にまで至ってきたが、今後さらなる精度·分解能の向上、小型化、発熱問題、そして真空·非磁性といった困難な世界を切り開く技術として、超音波モータが期待されている。