超低损耗电介质多层膜反射镜及其应用

摘要

在自由电子激光器、高效率波长转换、重力波检测等,近年在新激光器技术和其应用领域中,追求谐振器上用的电介质多层膜反射镜的低损耗,这些电介质多层膜是用电子束镀膜和离子束溅射方法制作的,从生产角度来看电子束已居于前列,有镀粒子能较低(20eV),又低温操作,可得到非晶形致密的低散射膜。