微技术中使用的液体夹钳

摘要

微系统工程的开发中,主要难题是制作极其微小的元件以及它们的装配。其中,夹持工艺起着决定性的作用,因为使用通常的技术,可能会损坏这些微小的结构。最近,夫琅霍费生产技术与自动化研究所研制出一种用于微系统的粘附钳手,用酒精作为粘附液。