LIGA技术研究现状及工业应用

摘要

微型构件不仅可以用硅工艺制造,而且可以通过精密工程、激光烧蚀、微电子放电加工、RIE和LIGA技术等许多其他技术来完成.本文展示了Forschungszentrum Karlsruhe研究中心开发的LIGA技术的研究现状及工业应用,同时对相关技术进行了描述,如牺牲层技术及利用SU-8负性光刻胶进行常规紫外光刻制造铸塑模具的技术等.此外,在LIGA技术的应用方面,对其在微型分光计、光纤连接器、摆线齿轮传动系统、光学外差接收机及微机械陀螺仪等领域的特殊的制造工艺及功能进行了介绍.