EACVD中热阴极直流放电特性的实验研究

摘要

本文针对ＥＡＣＶＤ过程中经常出现的放电振荡和不稳定现象，比较系统地研究了ＥＡＣＶＤ中热阴极直流放电特性及其与工艺参数之间的关系，分析和讨论了放电振荡和不稳定现象发生的原因，并给出了避免和控制的途径和措施。