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EACVD金刚石薄膜中氢分解过程的研究

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摘要

采用蒙特卡罗方法模拟了电子辅助化学气相淀积(EACVD)金刚石薄膜中的氢分解过程,建立了电子碰撞使氢分解的模型,给出了电子能量分布及氢原子数的空间分布,讨论了电偏压和气压对氢分解的影响.这些结果对EACVD制造金刚石薄膜的研究有重要意义.

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来源
《核聚变与等离子体物理》 |2000年第4期|233-236,232|共5页
作者
董丽芳; 陈俊英; 赵庆勋;
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作者单位

河北大学物理系,保定,071002;

河北大学物理系,保定,071002;

河北大学物理系,保定,071002;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
蒙特卡罗模拟; 电子辅助化学气相淀积; 氢分解;

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