合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽省微电子机械系统工程技术研究中心,合肥 230009;
合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽省微电子机械系统工程技术研究中心,合肥 230009;
合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽省微电子机械系统工程技术研究中心,合肥 230009;
合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽省微电子机械系统工程技术研究中心,合肥 230009;
合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽省微电子机械系统工程技术研究中心,合肥 230009;
中国科学院等离子体物理研究所,合肥 230031;