SiC晶须形貌质量检测标准

摘要

本文首次提出碳化硅晶须的形貌质量检测标准，该标准包括晶须的长度、直径长径比、以及晶须的表面光洁率、晶须直晶率、晶须中颗粒物含量几个方面的检测，并已在１９９３年２月，被国家“８６３”高技术结构材料专家组认定，做为我国ＳｉＣ晶须产品形貌质量的检测标准。