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超薄Ti膜介电函数的尺寸效应

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摘要

超薄Ti膜介电函数与薄膜厚度及外加电场频率的关系表明:超薄Ti膜的介电函数具有尺寸效应;超薄Tj膜介电函数实部随外加电场频率的增大而减小.对比超薄Ti膜直流电导率的实验结果,超薄薄膜形成过程中结构特征变化是导致介电函数尺寸效应的主要原因.

著录项

来源
《自然科学进展》 |2001年第10期|1099-1104|共6页
作者
杜昊; 宫骏; 孙超; 黄荣芳; 闻立时;
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作者单位

中国科学院金属研究所;

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正文语种 chi
中图分类计算机软件;
关键词
超薄Ti膜介电函数尺寸效应;

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