离子束加工中驻留时间的求解模型及方法(英文)

摘要

驻留时间求解问题是离子束加工中的关键问题.通常,离子束加工过程可以描述为一个包含驻留时间的二维卷积方程,理论上通过反卷积即可以求解出驻留时间.然而,反卷积问题是一个病态问题,所以驻留时间一般较难很好地求解出.为了解决这个问题,介绍了一个离散的线性模型——CEH模型,分析了该模型的优点.提出应用截断奇异值分解法(TSVD)来求解CEH模型;深入分析了该方法的优点,并利用“L-曲线”分析了驻留误差和加工量之间的关系以及用“L-曲线”对CEH模型中去除点和驻留点的不同取法进行了评价.仿真结果表明,CEH模型和TS-VD方法对于求解光学镜面离子束加工中的驻留时间很有效.