碳纳米管基纳米器件规模化装配技术

摘要

以典型纳米器件一单壁碳纳米管场效应晶体管的装配制造为例，进行了规模化装配制造实验研究。采用浮动电势介电泳方法在每平方厘米装配上了六百对器件。实验结果表明本方法实现了规模化装配，且成功率较高。