可见光波段宽带增透光学膜的研究

摘要

本文提出一种基于不同实验条件下的镀膜研究方法,设计了可见光波段宽带增透膜。选择TiO2和MgF2为镀膜材料,通过TFCalc软件设计了380 nm~780 nm波段宽带增透膜(AR膜),并通过模拟仿真实验分析得到单层TiO2、MgF2薄膜各波段的折射率,以及不同中心波长、单层材料折射率误差和厚度误差、入射角变化对可见光波段宽带AR膜平均透过率(AT)的影响。结果表明:中心波长为610 nm,入射角小于50˚,TiO2折射率偏差在−0.2~0,厚度偏差在−10~0 nm,MgF2折射率偏差在−0.1~0.1,厚度在−5 nm~5 nm之间变化时,可实现全波段平均透过率超过96%,为光学薄膜的研究提供了一种可参考的研究途径。