气相色谱法测定三氯氢硅中氯硅烷含量

摘要

利用气相色谱仪对三氯氢硅中的氯硅烷进行了分析检测。结果表明:选择程序升温能更好的将各种氯硅烷进行分离,当载气流速为20ml/min,参比流速为30ml/min时,方法的灵敏度最高;利用标准物质以及同系物沸点规律对三氯氢硅中的氯硅烷进行了准确定性;以SiCl4为标准物质,通过对相对校正因子的计算,发现各种氯硅烷的相对校正因子都接近于1;用面积百分比法方便、准确、快速的对各种氯硅烷进行了定量分析,定量相对标准偏差小于3%。