最近的超精密测量技术的研究状况与展望

摘要

＜正＞ 1.前言最近,超精密测量也就是所谓的光技术,由于应用光的测量技术能够以非接触方式进行高分辨率的测量,所以随着科学和工业的进展而成为不可缺少的技术。特别是光波干涉利用其重复性可以达到高精度,可用于精密测量。图1示出利用光的精密测量法的测量范围和相对不确定度。本文介绍利用光的高分辨率、高精度的测量技术的现状及其展望