可对多层结构样品进行无横切扫描电镜分析的软件

摘要

美国伊利诺斯州OakPark的Bruker Nano AnalyticS公司推出了XMethod，这是世界上第一个用于分析单层或多层成分和厚度的软件包，它基于通过XTrace微焦点X射线源进行扫描电子显微镜后分析得到的数据。该软件能够表征薄膜以及厚度从几个纳米到四十微米的多层结构，而且不需要横切样品。