基于金属氧化物半导体的电子背散射衍射检测器

摘要

英国Oxford Instruments Nanoanalysis公司推出了Symmetry，世界上第一个基于CMOS的电子背散射衍射（EBSD）检测器。据报道，其每秒的采集速度超过3000个索引模式，对所有样品提供的性能检测可提升高达一个数量级的性能。