超纳米晶金刚石膜制成的低摩擦涂层

摘要

美国先进金刚石工艺公司宣称，由独特的金刚石薄膜微结构生成的超纳米晶金刚石拥有特别低的摩擦系数，在用于机械密封时有出色的抗摩损特性。这种薄膜用于机械泵轴上时，由于降低扭力矩75％，而提高了能效。由3-5nm直径的金刚石微粒形成的薄膜具有多项优点，如沉积层光滑，其沉积温度与通常半导体工业使用的温度接近。