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王勇; 刘志刚; 薄锋; 朱健强;
中国科学院上海光学精密机械研究所,201800;
精密定位; 柔性放大机构; 压电/电致伸缩驱动;
机译:线性电动机和冲击驱动机构组成的组合执行器的大行程微/纳米精密定位
机译:支持大行程伺服机构的X-Y平行纳米定位器的设计与分析
机译:电磁线性电机驱动的挠曲机构的建模和控制,以实现一毫米行程内的超精确连续路径定位
机译:基于摩擦驱动的高分辨率大行程微进给机构
机译:集成的无源和共振感应耦合作为大活塞/旋转微镜的位移传感机构。
机译:用于长行程微/纳米定位台计量的微型均质干涉仪中激光二极管波长的实时校正和稳定化
机译:大型空间平移兼容微定位阶段的设计分析与优化
机译:高分辨率六足定位机构的设计
机译:微定位机构,扫描探针显微镜以及使用该微定位机构的微区域处理机
机译:定位装置双定位装置,用于内燃机的三速行程可变气门机构,其电流信号线穿过定位销之一,定位销的外端与插头销连接
机译:在此的光学头装置和微定位机构以及微定位方法和光轴对准方法
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