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正交图形簇畸变的校正研究及计算机仿真处理

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摘要

论述了电子束扫描正交图形簇产生畸变的非线性校正过程.通过几种典型的图形分析研究,推导出有关的校正函数,并运用计算机进行了该畸变图形的仿真处理及验证.

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来源
《微细加工技术》 |2001年第2期|31-34|共4页
作者
姚作宾; 胡咏梅; 肖义青;
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作者单位

山东大学南校区控制科学与工程学院,济南 2510001;

山东大学南校区控制科学与工程学院,济南 2510001;

山东大学南校区控制科学与工程学院,济南 2510001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN305@7;
关键词
扫描场; 正交图形簇; 畸变; 非线性校正; 计算机仿真;

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