微型电磁驱动器中微小电磁力的研究

摘要

设计了一种应用于微机电系统中的微型电磁驱动器.该微驱动器主要由平面正方形线圈、弹性支撑和坡莫合金薄片构成.采用微细加工技术成功地制作出了这种微驱动器.该驱动器具有较大的驱动力和行程,适用于在垂直方向上需要较大偏转的微机电系统中.研究了平面线圈对坡莫合金磁体的微小作用力,并用有限元模拟软件ANSYS,对该作用力进行了模拟分析.