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准分子激光加工球面调制靶工艺研究

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摘要

介绍了空心玻璃微球(HGM)的液滴法制备及其相关评测技术;针对HGM的特点和球面调制靶的制备要求,结合现有的准分子激光加工技术,对加工激光束参数的确定、光学系统的构建以及具体的加工过程进行了研究.提出了一种采用准分子激光刻蚀技术加工制备球面调制靶的具体工艺方案.

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来源
《微细加工技术》 |2004年第1期|32-37|共6页
作者
时涛; 杜润生;
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作者单位

华中科技大学,机械电子信息工程系,武汉,430074;

华中科技大学,机械电子信息工程系,武汉,430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光技术、微波激射技术 ;
关键词
空心玻璃微球(HGM); 球面调制靶; 激光加工 ;

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