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基于遗传算法的显影速率参数确定

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摘要

为了更精确地确定显影速率参数,采用基于遗传算法的最小二乘法对显影速率进行拟合,并与Gauss-Newton迭代法进行了比较.结果显示,基于遗传算法的拟合效果更佳,具有较强的鲁棒性,可以用于显影速率参数的确定.该拟合可以为显影模拟、曝光条件的优化提供更精确的参数.

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来源
《微细加工技术》 |2007年第3期|6-8,17|共4页
作者
郝慧娟; 张玉林; 魏强; 卢文娟;
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作者单位

山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061;

山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061;

山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061;

山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
显影速率; 最小二乘法; 遗传算法; Gauss-Newton迭代法;

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