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满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

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摘要

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度,其长度测量不确定度达到(0.02+0.2L)μm.文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析,给出了量块测量的验证数据.

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来源
《计测技术》 |2002年第5期|20-24|共5页
作者
赵静; 王承钢; 杨自本; 汪德宝; 牛立新; 崔岩梅;
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作者单位

中国航空长城计量测试技术研究所,北京,100095;

中国航空长城计量测试技术研究所,北京,100095;

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中国航空长城计量测试技术研究所,北京,100095;

中国航空长城计量测试技术研究所,北京,100095;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH711.1;TH744.3;
关键词
量块; 检定; 接触式; 激光量块干涉仪;

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