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带旋转的三面互检法

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摘要

按传统三面互检法评价平面度偏差,结果只能由评价平晶在两条相互垂直的直径线上的测量数值得到,其评价方法与平晶的真实面形偏差存在差异.本文介绍的基于光电探测技术、激光干涉技术、图像处理技术的带旋转三面互检法可以解出平面上N条直径线上的点的面形偏差,可以提高测量准确度.

著录项

来源
《计测技术》 |2007年第4期|14-16|共3页
作者
赵静; 张月平;
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作者单位

中国一航北京长城计量测试技术研究所,北京,100095;

中国一航北京长城计量测试技术研究所,北京,100095;

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正文语种 chi
中图分类几何量计量;
关键词
平面度; 三面互检法; 偏差;

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