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贾世奎; 李成贵; 熊昌友; 刘春红; 孙丹;
北京航空航天大学,仪器科学与光电工程学院,北京,100083;
中国一航北京长城计量测试技术研究所,北京,100095;
超光滑表面; 粗糙度; 测量; 精度;
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