孔径尺寸非接触式直接测量方法研究

摘要

针对如何准确测量孔径尺寸的问题,传统的接触式测量法既无法涵盖10 mm以下微小孔径尺寸的测量需求,其测量的准确性与效率也难以满足实际工作的要求。本文介绍了一种根据光电显微瞄准技术搭建的精密孔径测试装置实现对孔径尺寸的非接触式直接测量,并对测量过程中影响测量结果的不确定度分量进行分析。