基于激光干涉仪的定位误差补偿实验研究

摘要

定位精度是激光开槽机的一项重要技术指标。使用SJ6000激光干涉仪对KW-355型号的激光开槽机进行X､Y､Z轴的定位精度和重复定位精度进行测试实验,依据测试数据对激光开槽机的运行程序进行误差补偿,补偿误差后再使用激光干涉仪测试。经过多次误差补偿测试后,使开槽机的定位精度满足技术要求。