金相显微镜图像测量示值误差不确定度的评定方法

摘要

本文介绍了一种金相显微镜图像测量示值误差的校准方法。按照此方法对某金相显微镜图像测量的示值误差进行校准。通过校准结果分析,证明了该校准方法对测量点选择的有效性。通过对示值误差的校准结果及符合性判断的分析,确认该金相显微镜图像测量的示值误差满足MPEV为2%的要求,因此可利用此金相显微镜对人工缺陷这类微小尺寸样品进行图像测量。