接触式干涉仪滤光片波长检测装置

摘要

本文介绍了接触式干涉仪滤光片波长一种高精度检测装置．文中描述了其结构原理和操作程序，并作了检测准确度分析和比对．实验证明．该装置具有结构简单、易行、检测准确度高的优点．