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光波干涉法检定量具平面性及尺寸应用

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平晶是目前用来检定计量器具工作面平面性或平行性的主要量具.本文简要介绍了利用平晶和光波干涉法检定量具平面度和平行性的示值误差的方法.

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来源
《计量与测试技术》|2013年第11期|19,21|共2页
作者
薛永明; 方馗;
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作者单位

大连市计量检定测试所,辽宁大连116033;

大连市计量检定测试所,辽宁大连116033;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
平晶; 千分尺; 量块;

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