钢中夹杂物扫描电镜自动统计分析结果的影响因素探讨

摘要

以管线钢 、车轮钢 、易切削钢为研究对象,考察了利用扫描电镜(SEM)对钢中非金属夹杂物进行自动统计分析时,放大倍数 、图像分辨率 、采集时间及保护区设置对夹杂物分析结果的影响,并比较了不同的聚焦状态 、电子束状态 、衬度设置 、灰度阈值时夹杂物分析结果的差异,旨在优化选择各种设备参数,提高夹杂物自动统计分析的准确度.分析结果表明:放大倍数从100、200增大到500倍,所检测到的夹杂物数量相应增加,小于2μm的夹杂物增加量占80％ 以上,500倍时夹杂物增加量接近200倍时的2倍,而测试时间大幅延长至200倍时的5.6倍;图像分辨率从512、1024增大到2048,所检测到的夹杂物数量成倍增加,小于2μm的夹杂物增加量占60％ 左右,而测试时间延长幅度不大;采集时间延长 、设置保护区 、聚集好 、束流定时补偿均有助于获得更准确的夹杂物分析结果,衬度设置一般推荐Al-40、Fe-200,钢中含稀土夹杂物时采用双阈值设置.