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江亮; 雒建斌;
清华大学;
中国科学院;
超大规模集成电路; 特征尺寸; 化学机械抛光; 纳米; 制程; 互连结构; 氮化钽; 阻挡层;
机译：纳米SiO2在超大规模集成电路硅基板化学机械抛光工艺中的作用研究
机译：具有可控尺寸的Pt icosah面向纳米烯纳米晶体的容易合成，用于评价尺寸依赖性活动氧气减少
机译：尺寸可控的单分散聚苯乙烯/二氧化硅核壳纳米复合磨料的制备及其对铜的化学机械抛光性能
机译：AlmgB_（14）和纳米复合材料AIMGB_（14）-TIB_2超硬涂层的摩擦学特征
机译：用于集成电路平面化的化学机械抛光的界面力学。
机译：使用化学机械抛光的集成电路芯片操纵哺乳动物的细胞形态
机译：合规性测试报告。固特异轮胎和橡胶公司power Cushion，尺寸6.45-14，ply / ply评级2;尺寸7.35-14，ply / ply评级2 / 4,4 / 4;尺寸7.75-14，ply / ply评级2 / 2,4 / 2;尺寸8.25-14，ply / ply等级4/2;尺寸8.55-14，ply / ply评级2,4;尺寸E78-14，尺寸F78-14，尺寸H78-14，帘布层/帘布层等级4/2;尺寸185R14，尺寸195R14，帘布层/帘布层等级6/2;凡世通豪华冠军尺寸7.35-14，ply / ply评级2/2
机译：尺寸为426×34×10 500±250 mm TPU 8-16的生管的生产方法“用锭和小方坯TITANIUM ALLOLY GR 29进行切削，车削和镗孔，它们在商品上的尺寸为406.4 + 0.4 / -0×14，两端的长度为520±10毫米，两端为38 + 0,28 / -0,72，螺纹尺寸为406,4 + 4,0 / -2,0×14,38 + 0 / -1.8× 10000 + 100 / -0 mm，随后用于地热井
机译：用于评估具有纳米尺寸的特征的特征的系统，方法和计算机可读介质
机译：集成电路特征布局，可改善化学机械抛光
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