基于压电泵自主流体驱动的新型精密位移机构

摘要

提出了一种新型的位移精密驱动机构,它以主动阀压电泵为核心驱动装置,通过流体的转移来改变缸体液体容积的变化,从而实现位移进给;该机构可以通过电压调整输出力和步长,满足大行程或微位移、高精度的输出要求.文中详细描述了该机构的结构、原理、控制方法,初步实验证明该机构可行性较强.