基于PLC的真空镀膜装置控制系统设计

摘要

在对真空镀膜装置工作原理分析的基础上,设计了基于PLC的真空镀膜装置控制系统,并完成了控制系统关键器件的选型。该控制系统有效提升了真空镀膜装置的自动化控制能力,镀膜的精确性和效率得到了提高。