多点式压力测量传感器结构研究

摘要

介绍了一种多点式压力测量传感器系统结构的设计方案。该结构采用分层设计的思想，主要由上覆盖层、上电极、传感器主体结构、下电极以及下覆盖层构成，并选择导电橡胶作为传感单元，可以较好地消除维间耦合，减小计算的复杂性。