纳米TiO_2薄膜表面微区分析的研究进展

摘要

在简要介绍纳米TiO_2功能薄膜各种制备技术的基础上,着重对近年来研究TiO_2薄膜及其复合薄膜采用的微区分析技术及应用研究进展进行了综述,并比较了各种微区分析技术的优缺点。