掺氮碳化硅晶体的近红外光谱研究

摘要

分别用红外光谱测量系统和双光束分光光度计研究了室温下碳化硅单晶的光学性质，测得碳化硅晶体的透射率和反射率随波变化的关系。通过掺氮与非掺杂碳化硅各种光谱的比较，发现掺氮不仅使近红外透射率降低，也导致反射率下降，掺氮碳化硅晶体在可见光部分出现了比较明显的吸收带。此外，利用透射谱还获得非掺杂6H—SiC晶体的折射率。