KDP晶体超精密加工技术的研究

摘要

通过对KDP晶体等脆性材料的塑性域切削进行理论分析,研究实现脆性材料塑性域切削的条件.激光核聚变KDP晶体的3项主要技术指标是:表面粗糙度、波纹度和透射波前,通过分析影响这3项技术指标的因素,提出了实现KDP晶体精密加工的超精密机床和工艺参数.通过理论分析与实验,研究了晶向、刀具前角、刀具圆弧半径和进给量等参数对表面粗糙度的影响,最终给出KDP晶体精密加工的最佳工艺参数.