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于广东; 曾维俊; 陈昊; 陈琦; 何昕;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春 130033;
中国科学院大学 北京 100049;
中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 苏州 215163;
精密转台; 结构设计; 密珠轴系; 精度分析;
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