一种测量微运动的多尺度高精度方法

摘要

微运动测量是微纳制造技术研究的一项重要内容.文章将滤波器方法和多尺度方法相结合,提出了一种用于测量微运动的多尺度高精度方法.在该方法中,采用滤波器方法计算测量图像的梯度,并利用多尺度金字塔迭代方法对测量图像进行降采样和低通滤波,将较大像素的图像运动转化为多个小像素的图像运动进行估计,从而提高运动估计精度.提出的方法用于测量2个像素附近的谐振器图像运动时,测量偏差接近0.004个像素.实验模拟结果表明,这种多尺度方法能够实现高精度微运动测量.