大面积狭缝式涂布工作台的设计与分析

摘要

针对狭缝式涂布在大面积涂布领域的应用需求,设计了用于平板显示光阻涂布的精密工作台.利用有限元仿真软件ANSYS Workbench对工作台的龙门滑台组件进行了静力学分析,同时对工作台的运动部件进行了动力学模态分析,结果表明所设计工作台具备足够极高的静态刚度和动态响应能力,能够满足大面积狭缝式涂布要求.