一种混合薄膜结构传输线型射频（RF）阻抗匹配器

摘要

文章论述一种采用CoFeB磁膜（0．15μm）、薄铜箔导体（5μm）和聚酰亚胺薄膜（0．5μm）三种结构组成的射频（RF）阻抗匹配器。该器件的信号线宽6μm，纵向剖视CoFeB磁膜的总宽度约为200μm。实验检测结果显示，在工作频率超过1．5GHz时，减小磁膜的线条宽度，可以明显地降低“单位长度线段”的损耗。实验分析可知，所以能够降低该损耗，则：一是由于减小了磁膜断面内的涡流；二是减小磁膜宽度能使器件的传输信号的波长增长，其原因是分布电感减小了。这种器件被用作四分之一波长的阻抗匹配器，在1.8GHz以上的高频段，CoFeB磁性膜能够有效地降低器件的插入损耗。