SAC/TC336全国微机电技术标准化技术委员会微机电技术标准体系建设工作情况

摘要

cqvip:我国的微机电系统研究始于二十世纪九十年代初,经过10余年的发展,目前已在基础研究、技术攻关与装备、应用系统等几个层面取得了显著的进展。特别是2002年国家"863计划"启动"微机电系统重大专项"以来,我国的微机电系统技术得到了长足的发展,已经形成覆盖多个研究领域较为完整的体系。与此同时,微机电标准体系也在日趋完善中。