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无磨料低温抛光的工艺方法研究

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对无磨料低温抛光这种全新的工艺方法进行了系统的研究,包括抛光设备、抛光冰盘的制备、工件盘的制备、抛光盘的修整、抛光后工件的清洗、抛光后表面粗糙度的测量等.并用此种方法对石英晶体进行了抛光实验,得到了 Ra0.53mm的超光滑表面,结果证明这是一种获得超光滑表面的新方法.

著录项

来源
《机械设计与制造》 |2005年第1期|71-73|共3页
作者
刘向阳; 郁鼎文; 王立江; 孙国梓;
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作者单位

清华大学,北京,100084;

吉林大学,长春,130025;

清华大学,北京,100084;

吉林大学,长春,130025;

清华大学,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械加工精度理论;
关键词
无磨料; 低温抛光; 新工艺; 超光滑表面;

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