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崔巍; 郁鼎文; 吴志军; 尹文生;
清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;
摩擦学国家重点实验室,北京,100084;
放电间隙调整; 宏微系统集成; 宏微运动协调; 多线程控制;
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